[发明专利]基于金属有机框架材料MOFs的铜缓蚀剂及其制备方法有效
| 申请号： | 201910293634.3 | 申请日： | 2019-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN110129803B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 陈振宇;曹娇娇;魏莉莎;岑宏宇 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学;武汉楚博士科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C07F3/06 | 分类号： | C07F3/06 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 许恒恒;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： |
本发明属于金属材料缓蚀剂领域，公开了一种基于金属有机框架材料MOFs的铜缓蚀剂及其制备方法，该铜缓蚀剂包括20‑40重量份的氨基苯并咪唑/Zn |
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| 搜索关键词： | 基于 金属 有机 框架 材料 mofs 铜缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于金属有机框架材料MOFs的铜缓蚀剂，其特征在于，包括20‑40重量份的氨基苯并咪唑/Zn2+MOFs、30‑50重量份的分子量不超过60的小分子醇、以及10‑40重量份的极性不弱于六甲基磷酰胺的强极性有机溶剂，其中，所述氨基苯并咪唑/Zn2+MOFs具有如下式(I)所示的结构式：![]()
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