[发明专利]一种有机退膜液在审

专利信息
申请号: 201910296806.2 申请日: 2019-04-14
公开(公告)号: CN109943849A 公开(公告)日: 2019-06-28
发明(设计)人: 李华 申请(专利权)人: 广州恒荣电子科技有限公司
主分类号: C23F1/16 分类号: C23F1/16
代理公司: 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 代理人: 张学府
地址: 511300 广东省广州市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种有机退膜液,包括以下质量百分比的原料:有机碱30‑80%和水20‑70%,所述有机碱为单乙醇胺;将单乙醇胺均匀分散于水中,即可得有机退膜剂。本发明有机退膜液特别适合于精细线路干膜的去除,能有效去除夹膜,保证后续蚀刻的品质;退膜速率快,是传统氢氧化钠退膜速率的1.5‑2倍,特别对二次干膜有良好的退除速率和效率;不腐蚀钢面、锡面、金面,不攻击绿油等阻焊膜;膜碎呈细小均匀颗粒状,过滤容易,不堵塞喷嘴;槽液寿命长,保养周期7‑10天,提升生产效率;废液量少,成本低,更加环保。
搜索关键词: 退膜液 单乙醇胺 有机碱 干膜 退膜 去除 蚀刻 有机退膜剂 质量百分比 保养周期 精细线路 均匀颗粒 氢氧化钠 生产效率 喷嘴 废液量 速率和 阻焊膜 槽液 钢面 绿油 水中 锡面 过滤 腐蚀 堵塞 攻击 环保 保证
【主权项】:
1.一种有机退膜液,其特征在于:包括以下质量百分比的原料:有机碱30‑80%和水20‑70%,所述有机碱为单乙醇胺。
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