[发明专利]一种乙硼烷的合成系统及合成方法有效
申请号: | 201910297058.X | 申请日: | 2019-04-15 |
公开(公告)号: | CN109867262B | 公开(公告)日: | 2023-09-15 |
发明(设计)人: | 杨科 | 申请(专利权)人: | 包头市海科福鹏电子材料有限公司 |
主分类号: | C01B6/10 | 分类号: | C01B6/10 |
代理公司: | 北京中慧创科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11721 | 代理人: | 由元 |
地址: | 014000 内蒙古自治*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明提供一种能应用于工业化大规模生产的、可制备高纯度产品的乙硼烷的合成系统及合成工艺。本发明提供一种乙硼烷的合成系统,包括依次连接的反应釜、第一冷肼、气化段、气瓶、第二冷肼、一级精制塔、第三冷肼、二级精制塔、第四冷肼和产品气瓶。本发明解决的是现有技术中的乙硼烷生产和纯化工艺存在乙硼烷产品纯度不高,提纯难度大,不适合大规模生产的技术问题,为解决前述问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 乙硼烷 合成 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种乙硼烷的合成系统,其特征在于,包括依次连接的反应釜(1)、第一冷肼(2)、气化段(3)、气瓶(4)、第二冷肼(5)、一级精制塔(6)、第三冷肼(7)、二级精制塔(8)、第四冷肼(9)和产品气瓶(10);所述反应釜(1),用于进行乙硼烷的合成反应,所述反应釜(1)上部的产物出口与所述第一冷肼(2)的进口端通过管道连接;所述第一冷肼(2),用于将来自所述反应釜(1)的产物进行冷凝收集,所述第一冷肼(2)内部的第一收集装置的出口与所述气化段(3)通过管道连接;所述气化段(3),用于与所述第一冷肼(2)的出口通过管道连接,将来自所述第一冷肼(2)的液态产物常温气化;所述气瓶(4),用于收集来自所述气化段(3)的气态产物,所述气瓶(4)为一个或多个,所述气瓶(4)的出口与所述第二冷肼(5)的入口通过管道连接;所述第二冷肼(5),用于将来自所述气化段(3)的气态产物进行再冷却,将经过冷却液化的产物收集到所述第二冷肼(5)的第二收集装置,所述第二收集装置的出口与所述一级精制塔(6)的进料口通过管道连接;所述一级精制塔(6),用于将来自所述第二收集装置的产物进行低温精馏,所述一级精制塔(6)的底部的产物出口与所述第三冷肼(4)的进口通过管道连接;所述第三冷肼(7),用于将来自所述一级精制塔(6)塔底的一级精制产物进行冷凝收集,将液化后的产物收集到所述第三冷肼(7)内的第三收集装置中,所述第三收集装置的出口与所述二级精制塔(8)的进料口通过管道连接;所述二级精制塔(8),用于对来自所述第三收集装置的液化后的产物进行二级精制,所述二级精制塔(8)进行低温精馏后的气态产物从所述二级精制塔(8)的塔顶出口排出,得到摩尔纯度>99.999%的5N级的乙硼烷,通过管道给料到所述第四冷肼(9);所述第四冷肼(9),用于将来自所述二级精制塔的气态产物进行冷凝和收集,收集到产品气瓶(10)。
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