[发明专利]光学平衡法微纳运动系统姿态控制装置有效
| 申请号： | 201910297212.3 | 申请日： | 2019-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN109947141B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 朱振宇;段小艳;李华丰 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12 |
| 代理公司： | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 邬晓楠 |
| 地址： | 100095*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开的光学平衡法微纳运动系统姿态控制装置，属于几何量精密测量技术领域。本发明主要由控制系统模块、光学测量模块、光电解调模块、执行机构模块组成。采用光能量及局部干涉调制的频率信息来判定位置的准确信息，所述位置信息用于微纳运动系统的运动中的姿态控制。测量信号中光能量用来保证测量信号的有效区域确定，干涉调制的频率信息用来判断测量区域内的平衡点位置，最终在控制系统模块中运算并驱动执行机构保证微纳运动系统在工作中运动姿态稳定可控。本发明能够克服通常运动系统姿态测量灵敏度低、存在测量漂移等问题，结构相对简单，利于提高运动系统的集成和便携性能，其测量效率高，分辨力好，利于提高姿态控制的实时性和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 平衡 法微纳 运动 系统 姿态 控制 装置 | ||
【主权项】：
1.光学平衡法微纳运动系统姿态控制装置，其特征在于：主要由控制系统模块(1)、光学测量模块(2)、光电解调模块(3)、执行机构模块(4)组成；控制系统模块(1)用于综合运算测量数据及执行数据，对应协调执行机构完成运动系统姿态控制；光学测量模块(2)用于空间形位的参数测量，通过光学能量及局部干涉调制信息共同实现测量信息的转换；光电解调模块(3)用于光学测量模块(2)中光学信号的测量处理及转换，通过数字信号处理获得最终的控制依据；执行机构模块(4)是完成运动系统的对应形位控制的功能部件，通过执行机构模块(4)实现运动系统的平衡姿态保持。
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