[发明专利]研磨垫、研磨垫的制造方法及研磨方法有效
| 申请号： | 201910298552.8 | 申请日： | 2019-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN110385640B | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 王裕标;陈忆萍 | 申请（专利权）人： | 智胜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/22 | 分类号： | B24B37/22;B24B37/20 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 罗英;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨垫、研磨垫的制造方法及研磨方法，所述研磨垫包括研磨层以及含金属层。研磨层具有彼此相对的研磨面及背面，其中背面具有多个凹洞。含金属层配置于研磨层的背面且填入多个凹洞，其中含金属层与研磨层的背面之间具有第一接触面积，且第一接触面积大于研磨层的垂直投影面积。本发明提供的研磨垫及其制造方法以及研磨方法，使得在研磨制程期间，可调降研磨垫的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种研磨垫，其特征在于，包括：研磨层，具有彼此相对的研磨面及背面，其中所述背面具有多个凹洞；以及含金属层，配置于所述研磨层的所述背面且填入所述多个凹洞，其中所述含金属层与所述研磨层的所述背面之间具有第一接触面积，且所述第一接触面积大于所述研磨层的垂直投影面积。
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