[发明专利]一种新型蒸镀坩埚装置在审
| 申请号： | 201910299679.1 | 申请日： | 2019-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN109898059A | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 褚天舒;汪烨辰;刘志文 | 申请（专利权）人： | 湖畔光电科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人： | 吕波 |
| 地址： | 213200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及OLED蒸镀设备技术领域，特别是一种新型蒸镀坩埚装置，包括设置在工艺腔室下方的坩埚腔室，所述坩埚腔室均匀分隔为若干单独蒸镀腔室，所述单独蒸镀腔室底部可放入有坩埚，所述坩埚顶部左右两侧分别设置有把手，所述单独蒸镀腔室内壁开有与把手相对应的凹槽，所述单独蒸镀腔室内坩埚两侧设置有加热装置。采用上述结构后，本发明的单独蒸镀腔室可独立破真空，在蒸镀过程中，可在不影响其它材料的前提下单独为一个坩埚加装材料，节省时间与材料成本；每个单独蒸镀腔室内的坩埚取出更加便捷，直接从底部抽出即可；另外可以通过压力传感器实时监测坩埚内材料剩余量，及时提醒操作人员更换材料。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 蒸镀腔室 蒸镀腔 蒸镀 坩埚装置 坩埚腔 室内 压力传感器 材料成本 更换材料 工艺腔室 加热装置 均匀分隔 两侧设置 实时监测 蒸镀设备 左右两侧 破真空 剩余量 室内壁 放入 加装 把手 抽出 取出 | ||
【主权项】：
1.一种新型蒸镀坩埚装置，包括设置在工艺腔室下方的坩埚腔室，其特征在于：所述坩埚腔室均匀分隔为若干单独蒸镀腔室，所述单独蒸镀腔室底部可放入有坩埚，所述坩埚顶部左右两侧分别设置有把手，所述单独蒸镀腔室内壁开有与把手相对应的凹槽，所述单独蒸镀腔室内坩埚两侧设置有加热装置。
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