[发明专利]一种基于短量程扫描的光谱共焦测距方法、装置及设备有效

专利信息
申请号: 201910299741.7 申请日: 2019-04-15
公开(公告)号: CN110057298B 公开(公告)日: 2021-03-19
发明(设计)人: 白蛟;李星辉;王晓浩;周倩;倪凯 申请(专利权)人: 清华大学深圳研究生院
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 唐致明;洪铭福
地址: 518000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种基于短量程扫描的光谱共焦测距方法、装置及设备,所述方法包括:建立测头的轴向距离和光谱仪像素序号之间的关系曲线;所述测头短量程扫描所述当前位置,获取实测参比光强信号;根据所述噪声光谱信号、所述反射光谱信号和所述实测参比光强信号,获得像素序号值,将所述像素序号值代入所述查找关系曲线,获得所述待测物体表面当前位置的轴向距离。本发明利用测头短量程扫描所述当前位置,实时获取最大参比光强信号,无需预先存储校准过程中的最大参比光强信号,提高了测量的精度。另外,由于不需要进行全量程扫描,仅需要覆盖当前位置的短量程扫描,并且对扫描装置无定位要求,降低了仪器的成本。
搜索关键词: 一种 基于 量程 扫描 光谱 测距 方法 装置 设备
【主权项】:
1.一种基于短量程扫描的光谱共焦测距方法,其特征在于,包括:S1,建立测头的轴向距离和光谱仪像素序号之间的查找关系曲线;S2:获取第二噪声光谱信号;S3:所述测头检测待测物体表面,当所述待测物体表面进入光路的测量范围时,记录当前位置的反射光谱信号;S4:所述测头短量程扫描所述当前位置,获取实测参比光强信号;S5:根据所述噪声光谱信号、所述反射光谱信号和所述实测参比光强信号,获得所述当前位置的实时色散反射率光谱,利用寻峰算法获得该实时色散反射率光谱的波峰所对应的光谱仪像素序号值,将所述像素序号值代入所述查找关系曲线,获得所述待测物体表面当前位置相对所述测头的轴向距离。
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