[发明专利]由空间光整形的飞秒激光加工氧化石墨烯表面图案的系统

摘要

本发明提出了一种由空间光整形的飞秒激光加工氧化石墨烯表面图案的系统，属于飞秒激光应用领域。本方法利用空间光调制器对飞秒激光高斯光束的相位进行调制，调制后的激光经过透镜聚焦，在透镜的焦点处得到特定的光场强度分布，再经过光学4f系统聚焦在氧化石墨烯表面。通过调整加载在空间光调制器上的相位图，可以实现定点辐照就在氧化石墨烯表面得到一定形状的加工图案，被加工的区域发生还原反应产生类石墨烯结构。本发明具有加工效率高、可重复性高、适应范围广的优点，为制备氧化石墨烯‑石墨烯复合结构提供了一种可行的方法。

主权项

1.一种基于飞秒激光的氧化石墨烯表面图案加工系统，其特征在于，该加工系统包括飞秒激光器、衰减片、光阑、电控快门、反射镜、空间光调制器、第一凸透镜、第二凸透镜、二向色镜、聚焦物镜、平移台、第三凸透镜、电荷耦合元件和计算机；所述的飞秒激光器、衰减片、光阑和电控快门共光轴设置，飞秒激光器产生的飞秒激光经过衰减片调节激光功率，又经过光阑调节飞秒激光光斑直径后，经电控快门和反射镜入射到空间光调制器表面，照在调制器表面不同位置的激光被加载不同的相位后反射，反射出的飞秒激光依次经过第一凸透镜和第二凸透后依次射入二向色镜和聚焦物镜，传播并聚焦到氧化石墨烯样品的表面，实现对氧化石墨烯表面图案的加工；氧化石墨烯样品置于平移台上；二向色镜的另一侧为由第三凸透镜和电荷耦合元件组成的观测系统，实现加工时的观测；所述的飞秒激光器、电控快门、空间光调制器、平移台和电荷耦合元件通过信号线与计算机相连。