[发明专利]飞秒激光制作数字图像相关方法中微观散斑的方法及系统在审

专利信息
申请号: 201910300808.4 申请日: 2019-04-15
公开(公告)号: CN110238531A 公开(公告)日: 2019-09-17
发明(设计)人: 闫剑锋;蔡志鹏;李克俭;谢家旺;张宇 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: B23K26/362 分类号: B23K26/362;B23K26/60;B23K26/70
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 罗文群
地址: 100084*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种飞秒激光制作数字图像相关方法中微观散斑的方法及系统,属于微观变形测量技术领域。使用飞秒激光在待制作样品表面刻蚀微观散斑。刻蚀的微观散斑跟随待制作样品变形移动,可作为数字图像相关测量的信息载体,从而测量出待制作样品在载荷下的位移、应变等信息。本发明刻蚀的微观散斑能够达到微米级,适用于测量微观变形,刻蚀深度不超过2μm,对待制作样品性能影响小,微观散斑能够在高温下不失效,本发明方法适用于金属材料、陶瓷材料、有机材料和复合材料等绝大部分材料,刻蚀过程自动控制,效率高。
搜索关键词: 微观 散斑 刻蚀 制作 飞秒激光 数字图像 测量 金属材料 变形测量 变形移动 刻蚀过程 陶瓷材料 信息载体 性能影响 样品表面 有机材料 复合材料 微米级 变形
【主权项】:
1.一种飞秒激光制作数字图像相关方法中微观散斑的方法,其特征在于该方法包括以下步骤:(1)用无水乙醇将待制作样品的表面清洗干净,并进行干燥处理;(2)根据要求,确定需制作的微观散斑直径、微观散斑密度和微观散斑场类型,并根据确定的散斑直径、散斑密度和散斑场类型生成微观散斑场,根据微观散斑场中微观散斑的坐标得到三维工作台的运动轨迹;(3)将飞秒激光光束入射到待制作样品上,将待制作样品置三维工作台上,使三维工作台根据步骤(2)的运动轨迹运动,完成待制作样品表面微观散斑的制作,其中飞秒激光光束的单个脉冲能量为1nJ~5μJ,飞秒激光光束直径为3mm~10mm,飞秒激光光束的重复频率1Hz~1000Hz,飞秒激光的脉冲个数1~1000,飞秒激光的离焦量‑5μm~5μm。
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