[发明专利]一种表面检测装置、系统及方法

摘要

本发明实施例公开了一种表面检测装置、系统及方法。该表面检测装置包括：沿光线传播路径依次排列的光发射模块、反射模块和散射光探测回路；光发射模块用于发射第一激光光束和第二激光光束；反射模块包括反射转鼓和反射镜；散射光探测回路用于接收第一激光光束经过反射转鼓的反射并以第一方向投射到被测物体的表面后散射的第一散射光束，以及接收第二激光光束依次经过反射转鼓和反射镜的反射并以第二方向投射到被测物体的表面后散射的第二散射光束；其中，第一方向与被测物体的表面法向的夹角为A，0＜A＜90°；第二方向垂直于被测物体的表面。本发明实施例提供的表面检测装置，可以实现提高检测效率的效果。

主权项

1.一种表面检测装置，其特征在于，包括：沿光线传播路径依次排列的光发射模块、反射模块和散射光探测回路；/n所述光发射模块用于发射第一激光光束和第二激光光束；/n所述反射模块包括反射转鼓和反射镜；/n所述散射光探测回路用于接收所述第一激光光束经过所述反射转鼓的反射并以第一方向投射到被测物体的表面后散射的第一散射光束，以及接收所述第二激光光束依次经过所述反射转鼓和所述反射镜的反射并以第二方向投射到所述被测物体的表面后散射的第二散射光束；/n其中，所述第一方向与所述被测物体的表面法向的夹角为A，0＜A＜90°；所述第二方向垂直于所述被测物体的表面；/n所述反射转鼓的形状包括棱柱体、棱锥体或棱台中的任意一种，所述反射转鼓具有依次邻接设置的多个外侧壁，所述反射转鼓的至少一部分外侧壁设有第一反射镜，所述第一反射镜用于接收所述第一激光光束和所述第二激光光束。/n