[发明专利]一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置在审

专利信息
申请号: 201910304033.8 申请日: 2019-04-16
公开(公告)号: CN110068385A 公开(公告)日: 2019-07-30
发明(设计)人: 刘铸;孙鸿;孙毓湖 申请(专利权)人: 宜宾机电一体化研究所
主分类号: G01F25/00 分类号: G01F25/00
代理公司: 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 代理人: 邹敏菲
地址: 644005 四川省宜宾*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明涉及高准确度流量标准装置,特别涉及一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置,解决了现有气体流量标准装置不具有保持准确度长期稳定性和适应高准确度要求的结构形式,且不具备对工作气体介质工况参数的实时高准确度的检测能力的技术问题。一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置,包括驱动及其相关机构、底座和缸体,缸体为无法兰的圆柱形构件,且设置在驱动及其相关机构与底座之间,驱动及其相关机构包括互相连接的伺服电机、减速器、齿形同步轮带、滚珠螺母丝杠副、缸体上盖和活塞,滚珠螺母丝杠副的回转螺母安装在缸体上盖的中心,滚珠螺母丝杠副的下端通过设置在活塞下方的活塞法兰紧固连接,缸体上盖上设置有球栅测量系统。
搜索关键词: 气体流量标准装置 缸体 单缸活塞式 准确度 滚珠螺母 高端 上盖 丝杠 活塞 驱动 底座 减速器 流量标准装置 长期稳定性 圆柱形构件 准确度要求 测量系统 工况参数 互相连接 回转螺母 活塞法兰 紧固连接 伺服电机 同步轮带 齿形 球栅 下端 检测
【主权项】:
1.一种高端基准级的单缸活塞式气体流量标准装置,其特征在于,包括驱动及其相关机构(1)、底座(2)和缸体(3),所述的缸体(3)为无法兰的圆柱体形状构件,且采用四个外部光杠(4)通过防松螺母组合拉紧在所述驱动及其相关机构(1)与所述底座(2)之间,驱动及其相关机构(1)包括互相连接的伺服电机(1‑1)、减速器(1‑2)、齿形同步轮带(1‑3)、滚珠螺母丝杠副(1‑4)、缸体上盖(1‑5)和活塞(1‑7),所述的滚珠螺母丝杠副(1‑4)的回转螺母安装在所述缸体上盖(1‑5)的中心,滚珠螺母丝杠副(1‑4)的下端通过设置在活塞(1‑7)下方的活塞法兰(1‑6)紧固连接,缸体上盖(1‑5)上还设置有球栅测量系统。
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