[发明专利]用于FP腔光纤声学传感器的内嵌式双层敏感膜及制备方法有效
| 申请号： | 201910305527.8 | 申请日： | 2019-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN110057438B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 江致兴;刘滕;周俐娜 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学（武汉） |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00;G03F7/00;C23C14/18;C23C14/20;C23C14/30 |
| 代理公司： | 武汉知产时代知识产权代理有限公司 42238 | 代理人： | 孙丽丽 |
| 地址： | 430000 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于FP腔光纤声学传感器的内嵌式双层敏感膜及制备方法，属于声学传感器技术领域。本发明的FP腔光纤声学传感器包括毛细玻璃管、单模光纤和敏感膜，其中作为FP腔体的毛细玻璃管的一个环形端面与单模光纤的横截面连接，毛细玻璃管的另一个环形端面与将其覆盖的内嵌式双层敏感膜固连；内嵌式双层敏感膜包括软膜和内嵌入软膜内表面的金属硬膜，金属硬膜与单模光纤的纤芯横截面相对设置，金属硬膜的直径与单模光纤纤芯横截面的直径相等，软膜的直径与毛细玻璃管环形端面的外径相等。本发明将弹性模量较大且反射率大的金属硬膜镶嵌在弹性模量小的软膜内，形成一内嵌结构，制作出的敏感膜同时具有很好的形变能力和反射率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 fp 光纤 声学 传感器 内嵌式 双层 敏感 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于FP腔光纤声学传感器的内嵌式双层敏感膜，该FP腔光纤声学传感器包括毛细玻璃管、单模光纤和敏感膜，其中作为FP腔体的毛细玻璃管的一个环形端面与单模光纤的横截面连接，环形端面的外径和单模光纤的直径相等，该毛细玻璃管的另一个环形端面与将其覆盖的敏感膜固连；单模光纤的横截面中心和敏感膜的中心均在毛细玻璃管的轴线上，单模光纤的纤芯横截面和敏感膜作为FP腔体的两个腔镜，与毛细玻璃管的轴向成90°，形成FP腔干涉结构；其特征在于，该内嵌式双层敏感膜包括软膜和内嵌入软膜内表面的金属硬膜，金属硬膜与单模光纤的纤芯横截面相对设置，金属硬膜的直径与单模光纤纤芯横截面的直径相等，软膜的直径与毛细玻璃管环形端面的外径相等。
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