[发明专利]一种电镀液比重调整盐添加方法在审

专利信息
申请号: 201910306692.5 申请日: 2019-04-17
公开(公告)号: CN109930193A 公开(公告)日: 2019-06-25
发明(设计)人: 武立志;权循建 申请(专利权)人: 合肥新汇成微电子有限公司
主分类号: C25D21/14 分类号: C25D21/14
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 230000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种电镀液比重调整盐添加方法,包括以下步骤:S1:S11:取PG‑GOLD 2.5X浓缩液若干备用;S12:在需要维护的电镀液中添加金盐、辅助盐、添加剂及PH调整添加剂之后先确认液位恢复至设定液位再进行量测并依据量测值进行调整;S2:量测之后根据量测结果计算出PG‑GOLD 2.5X浓缩液的需要添加量,然后将PG‑GOLD 2.5X浓缩液分批次添加到需要维护的电镀液中,避免一次添加到位;S3:S31:在添加PG‑GOLD 2.5X浓缩液添加到需要维护的电镀液之后,待液位恢复至设定液位后再次进行量测;涉及电镀液技术领域。该电镀液比重调整盐添加方法,达到了电镀液比重调整能够达到预估值与实际值相对准确的目的,避免单次添加导致的结构的不确定性,避免到时电镀液的比重过高和过低。
搜索关键词: 电镀液 比重调整 浓缩液 量测 盐添加 液位恢复 液位 添加剂 预估 不确定性 量测结果 辅助盐 添加量 金盐 维护 备用
【主权项】:
1.一种电镀液比重调整盐添加方法,其特征在于:包括以下步骤:S1:S11:取PG‑GOLD 2.5X浓缩液若干备用;S12:在需要维护的电镀液中添加金盐、辅助盐、添加剂及PH调整添加剂之后先确认液位恢复至设定液位再进行量测并依据量测值进行调整;S2:量测之后根据量测结果计算出PG‑GOLD 2.5X浓缩液的需要添加量,然后将PG‑GOLD 2.5X浓缩液分批次添加到需要维护的电镀液中,避免一次添加到位;S3:S31:在添加PG‑GOLD 2.5X浓缩液添加到需要维护的电镀液之后,待液位恢复至设定液位后再次进行量测;S32:量测时如遇有金盐、辅助盐、添加剂及PH调整添加剂,应按在金盐、辅助盐、添加剂及PH调整添加剂后并在确认液位恢复至设定液位后再进行量测之方式进行;S4:量测后需再按前述方法进行再次计算PG‑GOLD 2.5X浓缩液添加量,并按前述添加原则进行逐次添加;S5:在每次添加后之量测,若需要维护的电镀液比重恢复至规格内,还有剩余前述计算添加之PG‑GOLD 2.5X浓缩液时,剩余未添加PG‑GOLD 2.5X浓缩液之量不再添加。
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