[发明专利]一种基于微环阵列的集成可调光延时线及其制备方法

摘要

本发明提出一种基于微环阵列的集成可调光延时线，包括SOI衬底，其中SOI衬底上表面设置有由若干耦合谐振腔光波导、延时波导和耦合波导组成的微环阵列以及输入波导和输出波导；若干耦合谐振腔光波导在SOI衬底上表面从左到右依次分布；耦合谐振腔光波导中设置有奇数个前后级联的微环，其中位于首末的两个微环与耦合波导耦合连接；相邻的耦合谐振腔光波导通过耦合波导连接，且相邻的耦合谐振腔光波导间的耦合波导上连接有延时波导；首个耦合谐振腔光波导中首末的两个微环的外端分别与输入波导和输出波导连接。本发明还提出一种基于微环阵列的集成可调光延时线制备方法。本发明能够使输入的光信号产生更高延时精度的延时量，增大光信号的带宽。

主权项

1.一种基于微环阵列的集成可调光延时线，其特征在于：包括SOI衬底，所述SOI衬底上表面设置有由若干个耦合谐振腔光波导、若干个延时波导和若干个耦合波导组成的微环阵列以及输入波导和输出波导；所述若干个耦合谐振腔光波导在SOI衬底上表面从左到右依次分布；所述每个耦合谐振腔光波导中设置有奇数个前后依次级联的微环，其中位于耦合谐振腔光波导首末的两个微环，其靠近外侧的一端耦合连接有耦合波导；所述相邻的耦合谐振腔光波导通过耦合波导连接，且相邻的耦合谐振腔光波导之间的耦合波导上连接有延时波导；所述微环阵列一端的耦合谐振腔光波导，其位于首末的两个微环中靠近外侧的一端分别连接有输入波导和输出波导。