[发明专利]检查装置及检查方法在审
| 申请号： | 201910309937.X | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN111323479A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 畠堀贵秀;田窪健二;吉田康纪 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01N29/04 | 分类号： | G01N29/04;G01N29/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够迅速地检查接合体中的部件彼此的接合状态的检查装置及检查方法。检查装置(1)为在将相互重合的多个板部件(91)经由铆钉(92)接合而成的接合体(9)中检查板部件(91)彼此的接合状态的装置。该检查装置(1)具有：激振部(2)，对接合体(9)的观察面(93)赋予相位、振幅的空间分布和/或频率不同的多个振动条件的弹性波；检测部(3)，在基于激振部(2)的激振过程中，检测观察面(93)上的板部件(91)与铆钉(92)的接合部(94)或其附近的与振动位移有关的物理量的空间分布；及处理部(4)，处理由检测部(3)检测出的物理量的空间分布。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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