[发明专利]一种激光干涉向后转移系统有效
| 申请号： | 201910310855.7 | 申请日： | 2019-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN109870884B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 翁占坤;蒋旭珂;王作斌;曹亮;张钦涵;董莉彤;刘日;李理;许红梅;宋正勋 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 李青 |
| 地址： | 130000 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种激光干涉向后转移系统涉及激光转移加工领域，基于激光转移技术与干涉技术的结合，将衬底材料以图案的方式向后转移透明衬底材料表面。该系统包括：脉冲激光器、分束镜、反射镜和偏振镜；脉冲激光器发出激光，通过分束镜分出至少两束光，经由反射镜反射，通过在激光能量范围内调节能量密度，几束光发生干涉；待加工组件包括透光材料和体材料，激光穿过透光材料在体材料表面发生干涉，发生干涉的激光对体材料烧灼，溅射的物质沉积在与体材料临近的透光材料面上，形成纳米级图案。本发明的双光束激光向后转移干涉系统，可以直接在普通环境下实现材料转移和大面积的干涉周期结构的直接制备，加工效率高，成本低，无污染，方法简便，结构完整清晰。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 干涉 向后 转移 系统 | ||
【主权项】：
1.一种激光干涉向后转移系统，其特征在于，该系统包括：脉冲激光器、分束镜、反射镜和偏振镜；所述脉冲激光器发出激光，通过分束镜分出至少两束光，经由反射镜反射，通过偏振镜在激光能量范围内调节能量密度后，几束光发生干涉；待加工组件包括透光材料和体材料，调节过能量密度的激光穿过所述透光材料在所述体材料表面发生干涉，发生干涉的激光对体材料烧灼，溅射的物质沉积在与所述体材料临近的所述透光材料面上，形成纳米级图案；所述几束光在所述透光材料前的入射角度数相等。
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