[发明专利]一种晶界层电容器的制作方法有效

专利信息
申请号: 201910311066.5 申请日: 2019-04-18
公开(公告)号: CN110098052B 公开(公告)日: 2021-07-02
发明(设计)人: 杨昌平;李伟恒;胡竞楚;张木森;徐玲芳;梁世恒;王瑞龙;肖海波 申请(专利权)人: 太原科技大学;湖北大学;南京铱方巨人新能源科技有限公司
主分类号: H01G4/12 分类号: H01G4/12;H01G4/00
代理公司: 武汉河山金堂专利事务所(普通合伙) 42212 代理人: 胡清堂;陈懿
地址: 030024 山*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明提供一种晶界层电容器的制作方法,采用三步法制备STO晶界层电容器。首先将STO生瓷片在还原性气氛中烧结得到半导体化基片,再选用适当氧化剂对STO半导体化基片进行绝缘化,最后利用STO晶界层电容器电阻值随负载电压及加压时间不断增加的特点,在加载电压条件下,对晶界层电容进行快速热处理来提高电容器的绝缘电阻值和一致性。该方法效果明显,对SrTiO3晶界层电容器在微波集成技术、微波电路和微波通讯中的应用具有重要意义。
搜索关键词: 一种 晶界层 电容器 制作方法
【主权项】:
1.一种晶界层电容器的制作方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:S1、运用流延法制备基片生坯,将基片生坯半导化得到STO基片,选取多种成分的金属与非金属氧化物的混合物作为氧化剂对STO基片进行绝缘化以及印刷电极,制备得到可测试介电性能的大瓷片;S2、将得到的可测试介电性能的大瓷片进行电、热处理,将处理后可测试介电性能的大瓷片进行切片处理,得到STO晶界层电容器;S3、将得到的STO晶界层电容器进行绝缘电阻及介电参数测量。
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