[发明专利]一种透明超薄膜折射率及厚度测量方法

摘要

本发明属于薄膜测量表征领域，并具体公开了一种透明超薄膜折射率及厚度测量方法，包括如下步骤：S1以2πd_T/λ为变量对透明超薄膜椭偏比ρ₁进行二阶泰勒展开获得幂级数形式：S2分离出幂级数形式中与透明超薄膜相关的参量T₁和T₂，并获得表达式；S3计算幂级数形式的实部与虚部平方的斜率R，根据斜率R计算的具体值；S4将计算的具体值带入步骤S2的表达式中求解出透明超薄膜的折射率n_T，并根据折射率计算透明超薄膜的厚度。本发明可实现透明超薄膜的折射率和厚度的快速、直接、准确测量，具有适用范围广，测量准确，无复杂分析过程等优点。

主权项

1.一种透明超薄膜折射率及厚度测量方法，其特征在于，包括如下步骤：S1以2πd_T/λ为变量对待测透明超薄膜椭偏比ρ₁进行二阶泰勒展开获得幂级数形式，其中，d_T为待测透明超薄膜的厚度，λ为入射光的波长：S2分离出幂级数形式中与透明超薄膜厚度相关的参量T₁和T₂，并获得以下表达式：其中，n₀为周围介质的折射率，n_s为基底折射率，n_T为待测透明超薄膜的折射率，基底为透明或近似透明；S3计算幂级数形式的实部与虚部平方的斜率R，根据斜率R计算的具体值；S4将步骤S3计算的具体值带入步骤S2的表达式中求解出透明超薄膜的折射率n_T，并根据透明超薄膜的折射率n_T计算获得透明超薄膜的厚度d_T。