[发明专利]用于傅里叶变换光谱仪的衰减全反射装置

摘要

一种用于傅里叶变换光谱仪的ATR装置，构成包括沿光路方向依次的第一平面反射镜、第一离轴抛物面反射镜、第二离轴抛物面反射镜、ATR晶体、第三离轴抛物面反射镜、第四离轴抛物面反射镜、第二平面反射镜、第三平面反射镜和第四平面反射镜。本发明利用离轴抛物面镜实现光束会聚和光斑大小控制、并通过双离轴抛物面镜相对于ATR晶体对称排布方式提高光谱仪输出光通量利用率，从而保障检测灵敏度和信噪比；本发明具有紧凑易集成特点，并适用于简单的批量生产。本发明在物理、化学、材料、地质、生物医学等领域具有广阔应用前景。

主权项

1.一种用于傅里叶变换光谱仪的ATR装置，其特征在于：包括入射光匹配模块(1)、ATR反射模块(2)和出射光匹配模块(3)；所述的入射光匹配模块(1)包含第一平面反射镜(M1)和第一离轴抛物面反射镜(PM2)；所述的ATR反射模块(2)包含第二离轴抛物面反射镜(PM3)，ATR晶体(ATR0)和第三离轴抛物面反射镜(PM4)；所述的出射光匹配模块(3)包含第四离轴抛物面反射镜(PM5)，第二平面反射镜(M6)、第三平面反射镜(M7)和第四平面反射镜(M8)，沿光路方向依次是所述的第一平面反射镜(M1)、第一离轴抛物面反射镜(PM2)、第二离轴抛物面反射镜(PM3)、ATR晶体(ATR0)、第三离轴抛物面反射镜(PM4)、第四离轴抛物面反射镜(PM5)、第二平面反射镜(M6)、第三平面反射镜(M7)和第四平面反射镜(M8)。