[发明专利]横向相减差动共焦透镜中心厚度测量方法有效
| 申请号： | 201910316789.4 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN109883340B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 赵维谦;王允;邱丽荣 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 11639 北京理工正阳知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 邬晓楠 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开的横向相减差动共焦透镜中心厚度测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明在共焦测量系统中，首先在CCD探测的艾丽斑图像上通过软件设置大、小虚拟针孔探测区域并将其探测的两条共焦特性曲线通过相减处理来锐化共焦特性曲线，其次将锐化共焦特性曲线进行差动相减处理来得到轴向高灵敏的差动共焦特性曲线，然后利用该差动共焦特性曲线零点与差动共焦测量系统焦点精确对应的特性对被测透镜中心厚度测量顶点位置进行高精度定焦寻位，最后通过光线追迹补偿精确得到透镜的中心厚度，实现透镜中心厚度的高精度测量。本发明具有测量精度高、抗环境干扰能力强和结构简单等优势，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 特性曲线 差动共焦 相减 透镜中心厚度测量 共焦 光学精密测量 锐化 抗环境干扰能力 透镜 差动共焦测量 共焦测量系统 测量精度高 高精度测量 顶点位置 光线追迹 软件设置 探测区域 透镜中心 系统焦点 虚拟针孔 差动 定焦 寻位 轴向 灵敏 探测 图像 应用 | ||
【主权项】：
1.横向相减差动共焦透镜中心厚度测量方法，其特征在于：包括以下步骤，/na)打开点光源(1)，点光源(1)发出的光经分束镜(2)、准直透镜(3)和测量物镜(4)后形成聚焦测量光束(5)照射在被测透镜(6)上；/nb)调整被测透镜(6)使其与测量物镜(4)和准直透镜(3)共光轴，使准直透镜(3)出射的平行光束经测量物镜(4)汇聚成聚焦测量光束(5)聚焦在被测透镜(6)顶点A上，被测透镜(6)顶点反射的聚焦测量光束(5)再经测量物镜(4)和准直透镜(3)后被分束镜(2)反射进入到横向相减差动共焦探测系统(7)，形成的焦前测量艾里斑(13)被焦前CCD探测器(10)探测；/nc)沿光轴方向移动测量物镜(4)使聚焦测量光束(5)的焦点与被测透镜(6)的顶点A位置重合；在该透镜顶点A位置附近相对轴向扫描测量物镜(4)，将横向相减差动共焦探测系统(7)中焦前大虚拟针孔探测域(14)和焦前小虚拟针孔探测域(15)分别探测的焦前大虚拟针孔探测共焦特性曲线(19)I
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