[发明专利]一种微透镜的制备方法有效
| 申请号： | 201910316865.1 | 申请日： | 2019-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN110082845B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 王亮;张博健;罗慧雯;何伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种微透镜的制备方法，包括：步骤1，设计微透镜的曲面方程和顶底高度；步骤2，处理衬底上的光刻胶，以形成球冠型光刻胶，该球冠型光刻胶的底面直径与设计的微透镜的底面直径相同；步骤3，根据球冠型光刻胶的顶底高度和设计的顶底高度确定衬底与球冠型光刻胶的刻蚀选择比；步骤4，对衬底和球冠型光刻胶进行刻蚀，使得刻蚀后的衬底的顶底高度、底面直径分别与设计的顶底高度、底面直径相同；步骤5，在刻蚀后的衬底外部蒸镀介质增透膜。通过对光刻胶热熔法制备的球冠型光刻胶微透镜进行干法刻蚀，从而将预先设计的抛物面型的微透镜转移至衬底，并在衬底上蒸镀介质增透膜，扩大了微透镜的底面直径，增加了微透镜的耐久性，提高了光学耦合率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透镜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微透镜的制备方法，包括：步骤1，设计所述微透镜的曲面方程和顶底高度；步骤2，处理衬底上的光刻胶，以形成球冠型光刻胶，该球冠型光刻胶的底面直径与所述设计的微透镜的底面直径相同；步骤3，根据所述球冠型光刻胶的顶底高度和所述设计的顶底高度确定所述衬底与球冠型光刻胶的刻蚀选择比；步骤4，对所述衬底和球冠型光刻胶进行刻蚀，使得刻蚀后的衬底的顶底高度、底面直径分别与所述设计的顶底高度、底面直径相同；步骤5，在所述刻蚀后的衬底外部蒸镀介质增透膜。
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