[发明专利]一种微纳气体传感阵列动态测试方法在审
申请号: | 201910316924.5 | 申请日: | 2019-04-19 |
公开(公告)号: | CN110031591A | 公开(公告)日: | 2019-07-19 |
发明(设计)人: | 苑振宇;吴同;李俊峰;林鑫;佟逸驰 | 申请(专利权)人: | 东北大学 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00 |
代理公司: | 沈阳东大知识产权代理有限公司 21109 | 代理人: | 梁焱 |
地址: | 110819 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种微纳气体传感阵列动态测试方法,步骤为:在每个待测传感器主体上方加装一根外套陶瓷管的电阻丝,用于对传感器所在区域进行温度调控;准备一张传感阵列安装板,在板上划设出若干区域,每个区域通过隔温板隔离,区域上方为敞开式结构,用于与待测气体环境保持接触;在每个区域内安装数量相等的传感器,传感器呈矩阵式排列,同一区域内的传感器类型相同;将安装有传感器的传感阵列安装板送入待测气体环境中,对各个区域内温度进行独立调控,使各个区域内的温度动态改变,得到每一个区域内的传感器响应能力随温度变化曲线;调整测气体环境中气体浓度,重复温度调控步骤;调整待测气体环境中的待测气体种类,重复温度调控步骤和气体浓度调控步骤。 | ||
搜索关键词: | 待测气体 传感器 温度调控 传感阵列 动态测试 气体传感 安装板 温度变化曲线 敞开式结构 传感器类型 传感器响应 待测传感器 矩阵式排列 独立调控 环境保持 浓度调控 气体环境 数量相等 所在区域 同一区域 温度动态 电阻丝 隔温板 陶瓷管 重复 加装 送入 隔离 | ||
【主权项】:
1.一种微纳气体传感阵列动态测试方法,其特征在于包括如下步骤:步骤一:对待测传感器进行改造,在每一个待测传感器主体的上方加装一根电阻丝,在电阻丝外侧套装上陶瓷管,电阻丝用于对待测传感器所在区域进行温度调控;步骤二:准备一张传感阵列安装板,在传感阵列安装板上划设出若干区域,每一个区域通过隔温板进行水平方向的隔离,每一个区域的上方为敞开式结构,用于与待测气体环境保持接触;步骤三:在每一个区域内安装上数量相等的待测传感器,待测传感器按照矩阵形式进行排列,且同一个区域内的待测传感器的类型相同;步骤四:将安装有待测传感器的传感阵列安装板送入待测气体环境中,对各个区域内的温度进行独立调控,并使各个区域内的温度产生动态改变,进而得到每一个区域内的待测传感器的响应能力随温度的变化曲线;步骤五:调整待测气体环境中的气体浓度,重复步骤四,用以得到不同气体浓度下的每一个区域内的待测传感器的响应能力随温度的变化曲线;步骤六:调整待测气体环境中的待测气体种类,重复步骤四和步骤五。
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