[发明专利]一种高温稳定性电极及其制备方法在审
| 申请号： | 201910316927.9 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN110113021A | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 彭斌;王博文;刘兴鹏;张万里 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 闫树平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于声表面波传感器的设计领域，具体为一种高温稳定性电极及其制备方法。该高温稳定性电极从下至上依次包括：氧化铝阻挡层、氧化锌缓冲层、Pt电极、ITO保护层和氧化铝保护层；ITO保护层设置于Pt电极上，与Pt电极一起被氧化铝保护层包覆。本发明利用了ITO能在高温下能抑制Pt电极的结块现象的发生；同时，ITO在高温下具有较好的导电性，当Pt在高温下结块时，不连续的空洞会被ITO填充，有效的降低了电极的电阻率，提高了电极在高温状态下的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 高温稳定性 氧化铝保护层 保护层 结块 制备 声表面波传感器 氧化锌缓冲层 导电性 高温状态 不连续 电阻率 阻挡层 氧化铝 包覆 填充 空洞 | ||
【主权项】：
1.一种高温稳定性电极及，从下至上依次包括：氧化铝阻挡层、氧化锌缓冲层、Pt电极和氧化铝保护层，其特征在于：还包括一层ITO保护层；所述ITO保护层设置于Pt电极上，与Pt电极一起被氧化铝保护层包覆。
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