[发明专利]一种碳化硅片快速加热退火装置

摘要

本发明公开了一种碳化硅片快速加热退火装置，包括：依次连接的冷却室、预热室、加热室，冷却室位于预热室的一侧，加热室位于预热室的上方，冷却室、预热室内皆设置有可旋转的硅片托盘；冷却室、预热室之间设置有机械手臂；预热室的硅片托盘底部设置有升降架。本技术方案在各腔室内设置有可旋转的硅片托盘，在腔室之间设置有机械手臂，预热室和冷却室都可以同时进行入料和出料步骤，保证了进出料的连续性。通过独立设置的冷却室、预热室和加热室，多个碳化硅片可以在同一时间分别进行热、加热、冷却步骤，实现了多任务的同时进行，极大的提高了加工效率，使碳化硅片的加热退火效率得到显著的提升。

主权项

1.一种碳化硅片快速加热退火装置，其特征在于，包括：依次连接的冷却室(1)、预热室(2)、加热室(3)，所述冷却室(1)位于预热室(2)的一侧，所述加热室(3)位于预热室(2)的上方，所述冷却室(1)、预热室(2)内皆设置有可旋转的硅片托盘(4)以用于将碳化硅片从腔室的一侧转移到另一侧；所述冷却室(1)、预热室(2)之间设置有机械手臂(5)，以用于将碳化硅片从硅片托盘(4)上夹取到相邻腔室的硅片托盘(4)上；所述预热室(2)的硅片托盘(4)底部设置有升降架(6)，以用于使碳化硅片在预热室(2)和加热室(3)之间垂直移动。