[发明专利]一种半椭球反射面的光学性能综合评价方法

摘要

本发明提出了一种半椭球反射面光学性能综合评价方法。该方法包括整体面形检测和反射率测量；其中整体面形检测主要是在半椭球焦点A、B处分别放置漫透射板和第一相机；经过扩束准直的激光被分束镜分光，分束镜反射光入射至漫透射板，经散射后到达半椭球反射面，由半椭球反射面反射汇聚至第一相机；在分束镜透射光路上与焦点A等光程处摆放第二相机；第二相机、第一相机分别拍摄入射光斑、光斑共轭像；对比入射光斑与其共轭像，根据共轭像失真、模糊程度，对面形精度和表面粗糙度进行评价；反射率测量包括局部反射率测量和总反射率测量。本发明具有检测效率高、实施成本低、易操作、抗干扰、系统全面等优点。

主权项

1.一种半椭球反射面的光学性能综合评价方法，包括整体面形检测和反射率测量，其特征在于：a、整体面形检测的过程如下：在半椭球焦点A、B处分别放置漫透射板(2)和第一相机(3)；经过扩束准直的激光(4)被分束镜(5)分光，分束镜(5)反射光入射至漫透射板(2)，经散射后到达半椭球反射面(1)，由半椭球反射面(1)反射汇聚至第一相机(3)；在分束镜透射光路上与焦点A等光程处摆放第二相机(6)；第二相机(6)、第一相机(3)分别拍摄入射光斑、光斑共轭像；对比入射光斑与其共轭像，根据共轭像失真、模糊程度，对面形精度和表面粗糙度进行综合评价；b、所述反射率测量包括局部反射率测量和总反射率测量；其中：b1)局部反射率测量的过程如下：设置透镜或透镜组(7)，其焦点与半椭球反射面(1)的焦点A重合，并在焦点B放置探测组件；经过扩束准直的激光(4)通过透镜或透镜组(7)聚焦至焦点A，然后再发散至半椭球反射面(1)的待测区，经待测区反射汇聚进入焦点B处的探测组件(8)；探测组件(8)测量得到的光功率与入射光功率之比即为局部反射率；根据检测需要，调节激光(4)的入射角度与透镜或透镜组(7)的位置，得到关注部位的局部反射率；b2)总反射率测量的过程如下：将漫透射板(2)置于焦点A、探测组件放置于焦点B，经过扩束准直的激光(4)入射到漫透射板(2)，经散射后到达半椭球反射面(1)，由半椭球反射面(1)反射汇聚进入探测组件(8)，探测组件(8)测量得到的光功率与入射光功率之比乘以漫透射板(2)的透过率即为总反射率。