[发明专利]形状测量装置和形状测量方法

摘要

本发明涉及一种形状测量装置和形状测量方法。形状测量装置(100)包括控制部(200)，控制部用于执行：判断处理，用于判断在深度测量范围外是否存在具有高度信息的未测量区域，其中该深度测量范围是从光投射部可照射图案光的高度范围；焦点位置改变处理，用于在判断处理判断为存在未测量区域的情况下，控制光轴方向驱动部改变光接收部的焦点位置；以及合成处理，用于生成通过合成多个立体形状数据所获得的合成立体形状数据，这多个立体形状数据是通过以下方式生成的：自动重复立体形状数据获取处理、判断处理和焦点位置改变处理，直到判断处理判断为不存在未测量区域或者满足预定结束条件为止。

主权项

1.一种形状测量装置，包括：台，在所述台上能够放置测量对象；光投射部，其被配置为将图案光照射在所述台上所放置的测量对象上；光接收部，其被配置为接收从所述光投射部照射并从所述测量对象反射的图案光，并且输出光接收数据；光轴方向驱动部，其被配置为使所述台相对于所述光接收部在光轴方向上相对移动，由此调整所述光接收部的焦点位置；以及控制部，用于执行：立体形状数据获取处理，用于基于所述光接收部所输出的光接收数据，利用图案投影法来测量与所述光接收部的光轴垂直的台平面上的测量范围内所存在的测量对象的形状，并且获取立体形状数据；判断处理，用于基于通过所述立体形状数据获取处理所获取到的立体形状数据，根据预定判断条件在所述测量范围中判断在深度测量范围外是否存在具有高度信息的未测量区域，所述深度测量范围是从所述光投射部能够照射所述图案光的高度范围；焦点位置改变处理，用于在通过所述判断处理判断为存在所述未测量区域的情况下，控制所述光轴方向驱动部来改变所述光接收部的焦点位置；以及合成处理，用于生成通过对多个立体形状数据进行合成所获得的合成立体形状数据，所述多个立体形状数据是通过以下方式生成的：自动重复所述立体形状数据获取处理、所述判断处理和所述焦点位置改变处理，直到通过所述判断处理判断为不存在所述未测量区域或者满足预定结束条件为止。