[发明专利]一种三角梁柔性约束变刚度微纳测头有效
| 申请号： | 201910319094.1 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN110095050B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 李保坤;程新华;吴耀东;韩迎鸽;马天兵;陈清华 | 申请（专利权）人： | 安徽理工大学 |
| 主分类号： | G01B7/016 | 分类号： | G01B7/016 |
| 代理公司： | 合肥维可专利代理事务所(普通合伙) 34135 | 代理人： | 吴明华 |
| 地址： | 232001 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种三角梁柔性约束变刚度微纳测头，包括动平台，动平台呈圆台状，动平台的一侧安装有测量组件，测量组件通过测量支撑结构与动平台连接，测量支撑结构的中心与测量组件的圆心同轴，测量支撑结构上固定安装有若干反射片，动平台的另一侧安装有若干与反射片相对应的干涉仪，动平台在于反射片相应的位置处分别设有贯穿孔；测量支撑结构的一端与测量组件连接，另一端通过柔性调节件与压电堆栈器连接，柔性调节件在动平台的下方呈正三角形分布；测量组件的顶部与动平台的底面之间具有间隙。本发明可通过调节压电堆栈器不同的工作状态，改变测量组件的刚度，可满足因测量过程、测量对象不同而对测量组件有不同刚度的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三角 柔性 约束 刚度 微纳测头 | ||
【主权项】：
1.一种三角梁柔性约束变刚度微纳测头，其特征在于，包括动平台(1)，所述动平台(1)呈圆台状，所述动平台(1)的一侧安装有测量组件(2)，所述测量组件(2)通过测量支撑结构(3)与所述动平台(1)连接，所述测量支撑结构(3)的中心与所述测量组件(2)的圆心同轴，所述测量支撑结构(3)上固定安装有若干反射片(4)，所述动平台(1)的另一侧安装有若干与所述反射片(4)相对应的干涉仪(5)，所述动平台(1)在于所述反射片(4)相应的位置处分别设有贯穿孔(101)；所述测量支撑结构(3)的一端与所述测量组件(2)连接，另一端通过柔性调节件与压电堆栈器(7)连接，所述柔性调节件在所述动平台(1)的下方呈正三角形分布；所述测量组件(2)的顶部与所述动平台(1)的底面之间具有间隙。
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