[发明专利]坩埚及采用该坩埚的多晶硅铸锭方法在审
| 申请号： | 201910319355.X | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN109853035A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 冷金标;龙昭钦 | 申请（专利权）人： | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 彭琰 |
| 地址： | 334100 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明提供一种坩埚及采用该坩埚的多晶硅铸锭方法，该坩埚的边角处设有倒角，该多晶硅铸锭方法包括：喷涂、装料、加热熔化使硅料熔化；待硅料全部熔化后，将铸锭炉的炉内气压降低至临近真空；将铸锭炉的炉内温度降低至第二设定温度，已经开始长晶；退火冷却处理。本发明中的坩埚及多晶硅铸锭方法，通过采用新的坩埚结构来进行多晶硅铸锭时，由于倒角的存在，可以减小液态硅与坩埚的接触面积，从而减小了硅氧化物或碳氧化物的产生。此外在进行多晶硅铸锭的过程当中，当硅料全部熔化为液态硅后，将铸锭炉的炉内气压降低至临近真空，提高热对流效果，从而将铸锭产生的硅氧化物充分排出，从而降低最终铸锭出的多晶硅锭中的氧含量。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶硅铸锭 坩埚 熔化 铸锭炉 硅料 硅氧化物 炉内气压 液态硅 倒角 减小 铸锭 退火 多晶硅锭 加热熔化 冷却处理 碳氧化物 温度降低 坩埚结构 装料 边角处 热对流 炉内 排出 喷涂 | ||
【主权项】：
1.一种坩埚，其特征在于，所述坩埚的边角处设有倒角，所述倒角为直角或圆角，且所述倒角的倒角距离或倒角半径位于所述坩埚被倒角边的边长的1/5至1/3之间。
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