[发明专利]采用定向晶粒控制的电化学机械抛光工件的预处理方法在审
| 申请号： | 201910319778.1 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN110067017A | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 白倩;张璧;王立航;汤寒宇 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C25F3/22 | 分类号： | C25F3/22;C25F7/00 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 高永德;李洪福 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 采用定向晶粒控制的电化学机械抛光工件的预处理方法。本发明涉及金属超精密加工技术领域，尤其涉及电化学机械抛光前的工件定向晶粒控制预处理方法。本发明的预处理方法包括：a、在不同晶粒尺寸的金属工件上进行电化学机械抛光实验，获得晶粒尺寸与材料去除率的关系；b、测量待加工金属毛坯工件的初始面型误差；c、基于a、b两个步骤测量的待加工金属毛坯面型误差特征、晶粒尺寸与材料去除率的关系和最终面型要求，设计电化学机械抛光材料去除率及晶粒尺寸分布；d、采用塑性成形及热处理的方法获得定向控制晶粒尺寸分布的工件。本发明的技术方案解决了现有技术中，传统ECMP加工方式因边缘效应而使得工件产生“塌边”现象等面型误差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 电化学机械抛光 晶粒 预处理 材料去除率 晶粒控制 面型误差 尺寸分布 金属毛坯 测量 加工 超精密加工 热处理 边缘效应 定向控制 方案解决 金属工件 塑性成形 面型 塌边 金属 | ||
【主权项】：
1.一种采用定向晶粒控制的电化学机械抛光工件的预处理方法，其特征在于，所述的预处理方法包括：a、在不同晶粒尺寸的金属工件上进行电化学机械抛光实验，获得晶粒尺寸与材料去除率的关系；b、测量待加工金属毛坯工件的初始面型误差(2)；c、基于a、b两个步骤测量的待加工金属毛坯面型误差特征(3)、晶粒尺寸与材料去除率的关系和最终面型要求，设计电化学机械抛光材料去除率及晶粒尺寸分布；d、采用塑性成形及热处理的方法获得定向调控晶粒尺寸分布的工件(1)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大连理工大学，未经大连理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910319778.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种接水盆装置及电镀设备
- 下一篇：一种拉晶系统
