[发明专利]一种基于数字微镜LDI的装置及倾斜扫描方法有效
| 申请号： | 201910319941.4 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN110045582B | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 蔡文涛;邱田生;陈振才 | 申请（专利权）人： | 东莞市多普光电设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 | 代理人： | 谭一兵 |
| 地址： | 523856 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于数字微镜LDI的装置及倾斜扫描方法，通过两组成像镜头和倾斜掩模完成倾斜扫描。本发明包含有DMD数字微镜，DMD数字微镜与第一组成像镜头之间设有全内反射TIR棱镜，第一组成像镜头远离DMD数字微镜的一端设有倾斜掩模，倾斜掩模远离第一组成像镜头的一端设有第二组成像镜头，第二组成像镜头远离倾斜掩模的一端设有目标面。本发明实现倾斜扫描功能，简化了曝光图形栅格化时数据处理难度，同时补偿在显影工艺上造成的精度误差。本发明使得每一行像素产生一定的移位，最终在目标面上呈现有如平行四边形的排布，简化了曝光图形栅格化时数据处理难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 数字 ldi 装置 倾斜 扫描 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于数字微镜LDI的装置，包含有：DMD数字微镜(11)；其特征在于，所述DMD数字微镜(11)与第一组成像镜头(12)之间设有全内反射TIR棱镜(16)，第一组成像镜头(12)远离DMD数字微镜(11)的一端设有倾斜掩模(13)，倾斜掩模(13)远离第一组成像镜头(12)的一端设有第二组成像镜头(14)，第二组成像镜头(14)远离倾斜掩模(13)的一端设有目标面(15)；倾斜掩模(13)呈平行四边形的阵列排布，倾斜掩模(13)上设有若干单孔(31)，在单孔(31)处可以透光，倾斜掩模(13)上设有按照多倍的DMD数字微镜(11)像素大小开窗的单孔(31)，开窗的单孔(31)形状呈圆形，单孔(31)透过的光束由DMD数字微镜(11)上n×n个像素组合反射而来，倾斜掩模(13)上每行开窗的单孔(31)都相对倾斜1个像素距离；目标面(15)上对应倾斜掩模(13)上的单孔(31)位形成单个成像光斑(51)，单个成像光斑(51)由n×n个小光斑综合叠加而成，单个成像光斑(51)其照度强弱由DMD数字微镜(11)单像素的开关控制。
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