[发明专利]一种高稳定高效抛光液及其制备方法和应用

摘要

本发明提供了一种高效硅溶胶抛光液及其制备方法，在硅溶胶抛光剂含有氧化硅分散体，并添加有非离子表面活性剂、Ti离子络合剂、Fe离子络合剂、氧化剂、缓蚀剂、有机碱、防腐杀菌剂：四甲基乙二胺、去离子水、所述硅溶胶中的氧化硅分散体由高岭石提纯获得，含有SiO2、氢氧化钠、乙醇、去离子水、聚乙二醇，其中氧化硅的含量为5~35wt.%，其中获得的氧化硅颗粒的尺寸集中在50‑60nm之间，且所述硅溶胶抛光液稳定、使用周期长。

主权项

1.一种高稳定高效抛光液，其特征在于所述抛光液包括：氧化硅分散体溶液：150‑300mL；非离子表面活性剂：聚环氧乙烷‑聚环氧丙烷‑聚环氧乙烷P123，1‑3g；Ti离子络合剂：1,2‑环己二胺四乙酸，0.5‑1g；Fe离子络合剂：EDTA，0.3‑0.7g；氧化剂：叔丁基过氧， 1‑2mL；缓蚀剂：苯并三氮唑，0.5‑1g；防腐杀菌剂：二氯苯基二甲脲，0.1‑1g；有机碱：四甲基乙二胺，调节抛光液pH=11.0‑11.5，去离子水：0.5‑1L；其中，所述氧化硅分散体由高岭石提纯获得，含有SiO₂、氢氧化钠、乙醇、去离子水、聚乙二醇，其中氧化硅的含量为5~35wt.%，其中获得的氧化硅颗粒的尺寸集中在50‑60nm，D₉₈≤75nm。