[发明专利]基板分割装置在审
申请号: | 201910323633.9 | 申请日: | 2019-04-22 |
公开(公告)号: | CN110466075A | 公开(公告)日: | 2019-11-19 |
发明(设计)人: | 酒井敏行;成尾徹 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业株式会社 |
主分类号: | B28D1/22 | 分类号: | B28D1/22;B28D7/04;B28D5/00;C03B33/023 |
代理公司: | 11413 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 袁波;刘继富<国际申请>=<国际公布>= |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种具有能够应对各种各样的基板而进行分割的倾动工作台的基板分割装置。该基板分割装置具有固定工作台(1)和倾动工作台(2),所述固定工作台和倾动工作台分别具有保持基板(W)的基板保持面(1a、2a),并且以这些基板保持面(1a、2a)形成同一水平面的方式空出间隔而邻接,倾动工作台(2)具有:倾动机构,其将所述倾动工作台的与固定工作台(1)邻接的一端部形成的旋转轴(3)作为支点而使倾动工作台(2)倾动;水平移动机构,其以在水平方向上与固定工作台(1)背离的方式使倾动工作台(2)移动;以及升降机构,其使倾动工作台(2)升降。 | ||
搜索关键词: | 倾动 工作台 固定工作台 基板保持面 基板分割 邻接 基板 水平移动机构 倾动机构 升降机构 同一水平 旋转轴 升降 背离 分割 移动 | ||
【主权项】:
1.一种基板分割装置,其沿着在由脆性材料构成的基板的表面形成的刻划线对所述基板进行分割,其中,/n所述基板分割装置具有固定工作台和倾动工作台,所述固定工作台和倾动工作台分别具有保持基板的基板保持面,并且以这些基板保持面形成同一水平面的方式空出间隔而邻接,/n所述倾动工作台具有:/n倾动机构,其将所述倾动工作台的与所述固定工作台邻接的一端部形成的旋转轴作为支点而使该倾动工作台倾动;/n水平移动机构,其以在水平方向上与所述固定工作台背离的方式使所述倾动工作台移动;以及/n升降机构,其使所述倾动工作台升降。/n
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