[发明专利]离子植入机以及监测离子植入机中离子束的方法在审
| 申请号： | 201910324810.5 | 申请日： | 2019-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN110060913A | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 蒋亚伟;洪纪伦;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 薛异荣;吴敏 |
| 地址： | 223302 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种离子植入机以及监测离子植入机中离子束的方法，方法包括：提供离子植入机；将晶圆放置于所述第一面；在离子源发射离子束的过程中，晶圆托盘承载着晶圆在植入区域中沿第二方向移动并经过延展区，第二方向垂直于第一方向，第二面朝向离子源，盘中心轴垂直于第二方向，第一测温区的中心至第二测温区的中心的连线平行于第一方向；在离子源发射离子束的过程中，采用束流测试仪实时测试离子束的束流值；获取第一测温仪所测温度和第二测温仪所测温度之间的温差信息；根据所述束流值以及所述温差信息判断离子束的束流稳定性是否符合要求。所述方法监测离子束的束流稳定性的精度提高。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 束流 离子植入机 监测离子 离子源 测温仪 植入机 测温 晶圆 温差 方向垂直 方向移动 晶圆托盘 实时测试 信息判断 测试仪 第二面 盘中心 延展区 轴垂直 发射 连线 植入 平行 承载 | ||
【主权项】：
1.一种离子植入机，其特征在于，包括：工作腔，所述工作腔包括植入区域和位于植入区域在第一方向一侧的测试区域，所述植入区域中具有沿第一方向延伸的延展区，所述延展区还延伸至测试区域中；位于所述工作腔中的离子源，所述离子源用于朝向所述延展区发射离子束；束流测试仪，所述束流测试仪位于测试区域的延展区中；位于所述工作腔中的晶圆托盘，所述晶圆托盘具有相对的第一面和第二面、以及垂直于第一面和第二面的盘中心轴；与第二面固定的第一测温仪；与第二面固定的第二测温仪，第二测温仪在第二面的投影图形与第一测温仪在第二面的投影图形关于第二面的中心点对称分布；所述晶圆托盘可在植入区域中沿第二方向移动并经过延展区，第二方向垂直于第一方向，当晶圆托盘在植入区域移动时，第一面朝向离子源，盘中心轴垂直于第二方向，第二测温仪的中心至第一测温仪的中心的连线平行于第一方向。
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