[发明专利]大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置及加工方法在审

专利信息
申请号: 201910325216.8 申请日: 2019-04-22
公开(公告)号: CN110052916A 公开(公告)日: 2019-07-26
发明(设计)人: 周炼;李洁;韦前才;郑楠;陈贤华;张清华;谢瑞清;廖德峰;赵世杰;王健;许乔 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: B24B13/00 分类号: B24B13/00;B24B13/005;B24B41/02;B24B51/00;B24B47/12;B24B1/00
代理公司: 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 代理人: 曹鹏飞
地址: 621900*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明涉及大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置及加工方法,包括床身,X方向传动机构沿X轴方向固定于床身上;工作台沿X轴方向与X方向传动机构可滑动连接;真空吸盘固定于工作台顶部,用于吸附固定元件;Y方向传动机构沿Y轴方向固定于床身上;Z方向传动机构沿Y轴方向可滑动于Y方向传动机构上;B轴旋转机构一端沿Z轴方向可滑动于Z轴方向传动机构上;主轴机构一端固定于B轴旋转机构另一端,且其轴线与B轴旋转机构轴线垂直;主轴机构另一端绕Y轴方向可摆动,磨削部固定于主轴机构另一端上,且与工作台位置对应;X方向传动机构、真空吸盘、Y方向传动机构、Z方向传动机构、B轴旋转机构及主轴机构均与控制系统电性连接。
搜索关键词: 旋转机构 主轴机构 复合成形 光学元件 磨削装置 真空吸盘 超精密 大口径 可滑动 工作台 楔板 工作台位置 可滑动连接 电性连接 控制系统 吸附固定 轴线垂直 可摆动 床身 磨削 加工
【主权项】:
1.大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置,其特征在于,包括:床身(1),X方向传动机构(2),所述X方向传动机构(2)沿X轴方向固定于所述床身(1)上;工作台(3),所述工作台(3)沿X轴方向与所述X方向传动机构(2)可滑动连接;真空吸盘(4),所述真空吸盘(4)固定于所述工作台(3)顶部,用于吸附固定元件;Y方向传动机构(5),所述Y方向传动机构(5)沿Y轴方向固定于所述床身(1)上;Z方向传动机构(6),所述Z方向传动机构(6)沿Y轴方向可滑动于所述Y方向传动机构(5)上;B轴旋转机构(7),所述B轴旋转机构(7)一端沿Z轴方向可滑动于所述Z轴方向传动机构(6)上;主轴机构(9),所述主轴机构(9)一端固定于所述B轴旋转机构(7)另一端,且其轴线与所述B轴旋转机构(7)轴线垂直;所述主轴机构(9)另一端绕Y轴方向可摆动,磨削部(8),所述磨削部(8)固定于所述主轴机构(9)另一端上,且与所述工作台(3)位置对应;控制系统,所述X方向传动机构(2)、所述真空吸盘(4)、所述Y方向传动机构(5)、所述Z方向传动机构(6)、所述B轴旋转机构(7)及所述主轴机构(9)均与所述控制系统电性连接。
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