[发明专利]一种去除样品表面离子损伤的方法有效
| 申请号： | 201910325233.1 | 申请日： | 2019-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN109913938B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 韩卫忠;郑若瑶;李璐璐 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C25F3/16 | 分类号： | C25F3/16;G01N1/32 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种去除样品表面离子损伤的方法，包括以下步骤：1)取抛光液，并将抛光液放置到容器中；2)向抛光液中加入液氮，并控制抛光液的温度；3)将时间继电器与电源连接，设置电源电压及电解抛光时间；4)将时间继电器与待处理样品相连接，电源与阴极片相连接，再将待处理样品及阴极片放入抛光液中，然后打开时间继电器的开关，实现对待处理样品的电解抛光，当电解抛光时间达到时，时间继电器自动断开，然后取出样品；5)对步骤4)得到的样品表面进行清洗，完成样品表面离子损伤的去除，该方法有效能够去除样品表面的离子损伤层，并且操作较为简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 去除 样品 表面 离子 损伤 方法 | ||
【主权项】：
1.一种去除样品表面离子损伤的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)取抛光液，并将抛光液放置到容器中；2)向抛光液中加入液氮，并控制抛光液的温度；3)将时间继电器与电源连接，设置电源电压及电解抛光时间；4)待处理样品通过时间继电器与电源的阳极相连接，电源的阴极与阴极片相连接，再将待处理样品及阴极片放入抛光液中，然后打开时间继电器的开关，实现对待处理样品的电解抛光，当电解抛光时间达到时，时间继电器自动断开，然后取出样品；5)对步骤4)得到的样品表面进行清洗，完成样品表面离子损伤的去除。
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