[发明专利]基于二维带状MoO3

摘要

基于二维带状MoO3纳米材料的高灵敏度微波湿度传感器，本发明属于湿度传感器领域，它为了解决现有湿度传感器灵敏度较低和响应时间较长的问题。本发明微波湿度传感器中连接微带线的一端与第一端口馈线连通，连接微带线的另一端与第二端口馈线连通，一号矩形环开环谐振器和二号矩形环开环谐振器对称分布在连接微带线的两侧，三号矩形环开环谐振器和四号矩形环开环谐振器对称分布在连接微带线的两侧，连接微带线与四个矩形环开环谐振器均为平行线耦合，敏感材料位于每个开环谐振器的开口处。本发明从选频分析、气敏材料合成、微波器件设计等方面对微波湿度检测器件进行优化，实现了10％到90％相对湿度范围的高灵敏检测。

主权项

1.基于二维带状MoO₃纳米材料的高灵敏度微波湿度传感器，其特征在于该基于二维带状MoO₃纳米材料的高灵敏度微波湿度传感器包括基板(1)、第一端口馈线(2)、连接微带线(3)、第二端口馈线(4)、四个矩形环开环谐振器和敏感材料，第一端口馈线(2)、连接微带线(3)、第二端口馈线(4)和四个矩形环开环谐振器均采用印刷电路板技术印刷在基板(1)的表面，连接微带线(3)呈直线段，连接微带线(3)的一端与第一端口馈线(2)连通，连接微带线(3)的另一端与第二端口馈线(4)连通；其中一号矩形环开环谐振器(5)和二号矩形环开环谐振器(6)的结构相同，三号矩形环开环谐振器(7)和四号矩形环开环谐振器(8)的结构相同；一号矩形环开环谐振器(5)和二号矩形环开环谐振器(6)对称分布在连接微带线(3)的两侧，三号矩形环开环谐振器(7)和四号矩形环开环谐振器(8)对称分布在连接微带线(3)的两侧，连接微带线(3)与四个矩形环开环谐振器均为平行线耦合；敏感材料位于每个矩形环开环谐振器的开口处，所述的敏感材料为带状MoO₃纳米材料。