[发明专利]一种三维微纳折纸结构的制备方法有效
| 申请号： | 201910325468.0 | 申请日： | 2019-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN110143566B | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 顾长志;潘如豪;李俊杰;金爱子;杨海方 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 康正德;关艳芬 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种三维微纳折纸结构的制备方法，包括：制备悬空的第一薄膜材料，并在所述第一薄膜材料上旋涂光刻胶；基于第一薄膜材料形成至少一个具有第一预定图形的第一平面结构；制备第二薄膜材料，并进行溶脱与刻蚀作为样品备用；将所述样品置于预设离子束系统中，利用离子束对所述第一平面结构进行辐照获得卷曲结构；将获取卷曲结构后的样品置于聚焦离子束系统中，并利用线扫描和/或线切割使所述卷曲结构折叠，得到三维微纳折纸结构。基于本发明提供三维微纳折纸结构的制备方法，其机制在于离子束技术在微纳尺度上对应力大小的精确控制，并实现了微纳尺度的三维卷曲折叠结构的加工，大大提高了三维微纳折纸结构的加工灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 折纸 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种三维微纳折纸结构的制备方法，包括：步骤S1、制备悬空的第一薄膜材料，并在所述第一薄膜材料上旋涂光刻胶；步骤S2、通过曝光的方式在所述第一薄膜材料的表面形成至少一个具有第一预定图形的第一平面结构；步骤S3、在形成有所述第一平面结构的第一薄膜材料上制备第二薄膜材料，并进行溶脱与刻蚀后作为样品备用；步骤S4、将所述样品置于预设离子束系统中，利用离子束对所述第一平面结构进行辐照获得卷曲结构；步骤S5、将获取卷曲结构后的样品置于聚焦离子束系统中，并利用线扫描和/或线切割使所述卷曲结构折叠，得到三维微纳折纸结构。
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