[发明专利]过程自动化领域中的传感器及其制造在审
申请号: | 201910325866.2 | 申请日: | 2019-04-23 |
公开(公告)号: | CN110411492A | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 英格丽德·文德利希 | 申请(专利权)人: | 恩德莱斯和豪瑟尔分析仪表两合公司 |
主分类号: | G01D11/00 | 分类号: | G01D11/00;C23C16/50;C23C16/26 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 蔡石蒙;车文 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明公开了一种过程自动化领域中的传感器(1)及其制造,用于检测介质(2)的被测量,传感器(1)包括至少一个金属区段(8),该金属区段(8)包括涂层,该涂层具有类金刚石碳层(7)。此外,本发明还公开了一种对应的方法。 | ||
搜索关键词: | 传感器 过程自动化 金属区段 类金刚石碳层 制造 测量 检测 | ||
【主权项】:
1.过程自动化领域中的传感器(1),所述传感器(1)用于检测介质(2)的被测量,所述传感器(1)包括至少一个金属区段(8),所述至少一个金属区段(8)至少部分地包括涂层,所述涂层具有类金刚石碳层(7)。
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