[发明专利]一种机器人自动搬运清洗系统及方法

摘要

本发明提供了一种机器人自动搬运清洗系统及方法，其系统通过利用上料机构中的分离组件将抬升至堆料区顶部的硅晶片与下方相邻的硅晶片进行分离形成缓冲区，使转移硅晶片的抓料机械手在吸附抓取硅晶片时，下方相邻的硅晶片不会被挤压破碎，进而实现硅晶片可以通过真空吸附的方式进行转移，其方法通过利用分离步骤与喷气缓冲步骤将抬升至堆料区顶部的硅晶片与下方相邻的硅晶片进行分离形成缓冲区，使转移硅晶片的抓料机械手在吸附抓取硅晶片时，下方相邻的硅晶片不会被挤压破碎，进而实现硅晶片可以通过真空吸附的方式进行转移，解决硅晶片无法实现自动化转移清洗的技术问题，提高硅晶片的清洗效率与清洗品质。

主权项

1.一种机器人自动搬运清洗系统，包括安装平台(1)，该安装平台(1)为方形设置，且该安装平台(1)任意三条侧边均为清洗工位(10)，该清洗工位(10)上均分别安装有清洗装置(2)，其特征在于，还包括设置于所述安装平台(1)剩余一条侧边上的上下料工位(11)以及设置于所述安装平台(1)中部的转移工位(12)；所述上下料工位(11)上安装有上下料装置(3)，该上下料装置(3)包括可移动的工作台(31)以及安装于该工作台(31)上的上料机构(32)与缓存机构(33)；所述转移工位(12)上安装有转移装置(4)，该转移装置(4)包括固定设置的安装立柱(41)以及安装于该安装立柱(41)上可转动设置的抓料机械手(42)；所述抓料机械手(42)自位于所述工作台(31)处的所述上料机构(32)抓取硅晶片(30)后，将该硅晶片(30)转移至任意所述清洗装置(2)内清洗，该硅晶片(30)清洗完成后仍由该抓料机械手(42)抓取复位至对应所述工作台(31)处的所述缓存机构(33)的正上方，所述机械手(42)释放该硅晶片(30)后，由所述缓存机构(33)暂存。