[发明专利]一种高精度微孔的加工方法和装置有效
申请号: | 201910328354.1 | 申请日: | 2019-04-23 |
公开(公告)号: | CN109909569B | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 刘军;赵风君 | 申请(专利权)人: | 中南大学 |
主分类号: | B23H9/14 | 分类号: | B23H9/14 |
代理公司: | 长沙永星专利商标事务所(普通合伙) 43001 | 代理人: | 何方 |
地址: | 410083 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种高精度微孔的加工方法和装置,包括以下步骤:(1)调配打孔电解液,通过推挤泵将电解液通入针头内,定位打孔位置;(2)控制针头尖端的电解液形成微型液珠并与材料表面接触,通过调整针头尖端与加工材料表面的距离、微型液珠尺寸,控制接触面尺寸等于打孔尺寸;(3)在针头与加工材料两端负载恒流电压,微型液珠与加工材料接触部分发生电解腐蚀;(4)随着腐蚀深度加深,控制针头尖端与不同腐蚀层面的距离保持不变,并调节推挤泵对微型液珠进行反馈补偿,使微型液珠内部浓度趋于平衡,液珠尺寸保持稳定,进而完成整个微孔加工过程。本发明的打孔方式属于常温打孔,不会出现二次结晶、开裂等问题,而且打孔尺寸目前可以达到10μm。 | ||
搜索关键词: | 一种 高精度 微孔 加工 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种高精度微孔的加工方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)调配打孔电解液,将针头及加工材料分别固定在升降平台及X‑Y移动平台上,通过推挤泵将电解液通入针头内,定位打孔位置;(2)控制针头尖端的电解液形成微型液珠并与材料表面接触,通过调整针头尖端与加工材料表面的距离、微型液珠尺寸,借助显微镜测量功能,使接触面尺寸等于打孔尺寸;(3)在针头内部与加工材料两端负载恒流电压,使接触部位与针头内部分别发生氧化反应、还原反应,微型液珠与加工材料接触部分发生电解腐蚀;(4)随着腐蚀深度加深,控制针头尖端与不同腐蚀层面的距离保持不变,并调节推挤泵对微型液珠进行反馈补偿,使微型液珠内部浓度趋于平衡,液珠尺寸保持稳定,进而完成整个微孔加工过程。
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