[发明专利]一种阵列基板及其制造方法在审
申请号: | 201910331159.4 | 申请日: | 2019-04-24 |
公开(公告)号: | CN109828395A | 公开(公告)日: | 2019-05-31 |
发明(设计)人: | 徐尚君;王鸣昕;王利忠;王怀佩;舒扬;周刘飞;王志军 | 申请(专利权)人: | 南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G02F1/1362;G03F7/20;H01L27/12 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 210033 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提出了一种阵列基板及其制造方法,属于显示技术领域;该阵列基板包括多层薄膜晶体管和平坦化层,多层薄膜晶体管包括:第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管,平坦化层位于第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管之间;其中第一薄膜晶体管的公共电极和第二薄膜晶体管的栅极采用同一层透明导电材料形成;本发明所提出的阵列基板在同一投影区域内设置至少两颗层叠的薄膜晶体管,使得显示器在实现像素自驱动、超窄边框等功能的同时,维持较大的像素开口率;并由同一层透明导电材料形成第一薄膜晶体管的公共电极和第二薄膜晶体管的栅极,节约光罩数量,节省成本。 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 阵列基板 透明导电材料 多层薄膜 公共电极 同一层 晶体管 像素开口率 超窄边框 平坦化层 投影区域 自驱动 显示器 光罩 化层 像素 制造 节约 | ||
【主权项】:
1.一种阵列基板,包括:纵横交错的扫描线和数据线、由扫描线和数据线交叉限定的像素区域、位于像素区域的薄膜晶体管以及平坦化层;其特征在于,所述薄膜晶体管为多层薄膜晶体管,多层薄膜晶体管包括:第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管;所述平坦化层位于所述第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管之间;第一薄膜晶体管包括:第一栅极、覆盖第一栅极的第一栅极绝缘层、位于第一栅极绝缘层上的第一有源层、与第一有源层相接触的第一源极和第一漏极、覆盖第一源极和第一漏极且由所述平坦化层覆盖的第一绝缘层;第二薄膜晶体管包括:位于平坦化层上由透明导电材料形成的第二栅极、覆盖第二栅极的第二栅极绝缘层、位于第二栅极绝缘层上的第二有源层、与第二有源层相接触的第二源极和第二漏极、覆盖第二源极和第二漏极的第二绝缘层;阵列基板还包括公共电极,公共电极位于平坦层上,第二栅极和公共电极由同一层透明导电材料形成,第二栅极和公共电极之间电性不连接。
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