[发明专利]基体表面等离子体辅助激光织构化PVD涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201910331508.2 | 申请日： | 2019-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN109913801A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 张克栋;郭旭红;王呈栋;孟祥峰;刘峰 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/32;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陈婷婷 |
| 地址： | 215137 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了本发明的一种基体表面等离子体辅助激光织构化PVD涂层的制备方法，其中先采用飞秒激光在基体表面加工微织构，然后利用等离子体刻蚀基体表面，最后在织构化基体表面上沉积PVD涂层，获得具有PVD涂层的基体。该方法不仅能够提高基体表面比表面积，增加涂层与基体之间的机械嵌接作用，而且通过等离子体辅助激光加工方法进行涂层基体表面规则微织构的高质量可控制备，还可以改善涂层膜基间物理结合和化学键合界面，进一步提高涂层膜基结合强度，提高规定形状区域内涂层与基体之间的结合力。该方法尤其适用于高速钢或硬质合金钢基体的PVD涂层刀具的制备，能够有效地提升刀具的综合性能。 | ||
| 搜索关键词： | 基体表面 等离子体辅助 制备 激光织构化 涂层膜 微织构 刀具 等离子体刻蚀 化学键合界面 硬质合金钢 表面规则 飞秒激光 激光加工 涂层基体 物理结合 形状区域 综合性能 高速钢 结合力 可控制 内涂层 有效地 织构化 嵌接 沉积 加工 | ||
【主权项】：
1.一种基体表面等离子体辅助激光织构化PVD涂层的制备方法，其特征在于，依次包括如下步骤：（1）基体预处理：采用高速钢或硬质合金材料制成的基体，并将基体表面研磨抛光处理，再对所述基体表面予以清洁处理；（2）在所述基体表面加工微织构：利用物镜将线性偏振飞秒激光聚焦到所述基体表面，设定激光扫描路径与激光加工参数，在所述基体表面加工出微织构；（3）等离子体刻蚀加工：将经激光加工微织构后的所述基体放置在感应耦合等离子刻蚀系统的刻蚀腔中，在等离子体环境下干法刻蚀实现微织构的制备，在所述基体表面形成等离子改性层；（4）沉积PVD涂层：在具有所述微织构的所述基体表面上沉积PVD涂层，所述PVD涂层覆盖在所述等离子改性层上。
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