[发明专利]多点矩阵式电涡流传感器检测金属平面度检测方法

摘要

本发明公开了一种多点矩阵式电涡流传感器检测金属平面度检测方法，首先传感器采用多折线图进行标定，将传感器安装到检测工装上，对传感器的安装高度进行校准，对传感器在待检测工件上平面位置用水平面坐标进行标定，将各传感器到待检测工件平面间的测量值以及转换得到的实际距离值和安装高度误差，形成每个检测点的空间坐标，采用多点最小二乘法计算得出该测量面的平面度偏差值。本发明提供的检测方法具有检测精度高、检测时间快、电涡流传感器布放死角小、不用接触工件测量等优点，本发明可以应用于各种金属平面的表面平面度检测，对有高反射率或表面不能接触的金属面，在不能使用传统的机械接触测量或激光位移传感器测量时均可适用。

主权项

1.一种多点矩阵式电涡流传感器检测金属平面度检测方法，其特征在于包括以下步骤:S1.对要使用的传感器采用多折线图进行标定；S2.将传感器安装到检测工装上，安装完成后利用标定块对传感器的安装高度进行校准，得到传感器检测端面到标定块间的测量值以及根据多折线图转换得到的矫正值；S3.安装高度校准后，卸下标准快，换上待检测工件，在待检测工件上选取坐标圆点，对传感器在待检测工件上平面位置用水平面坐标(X，Y)进行标定；S4.测量各传感器到待检测工件平面间的测量值以及根据多折线图转换得到的实际距离值；S5.数据处理，将传感器到待检测工件平面间的实际距离值减去矫正值得到被测工件到理想平面的距离Z，并将其与XY平面坐标一一对应，形成每个检测点的空间坐标(X,Y,Z)；S6.根据多点最小二乘法，计算出理想平面方程z＝a₀x+a₁y+a₂，计算得出该测量面的平面度偏差值，从而判断待检测工件的平面度是否合格。