[发明专利]一种晶圆缺陷检测的方法和装置在审
| 申请号： | 201910336397.4 | 申请日： | 2019-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN110018181A | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 孙必胜;刘命江 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 周阳君 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆缺陷检测的方法和装置。更具体地，本发明公开了一种为管芯确定管芯角的方法，包括在管芯的内部选取参考点；获取位于管芯的最外围的水平边上的第一节点以及位于管芯的最外围垂直边上的第二节点，其中参考点与第一节点的连线与管芯的最外围的水平边垂直，并且参考点与第二节点的连线与管芯的最外围的垂直边垂直；获取第三节点，其中第一节点、第二节点、第三节点和参考点形成矩形；以及第三节点被认为是管芯的管芯角。 | ||
| 搜索关键词： | 管芯 参考点 外围 方法和装置 缺陷检测 垂直 连线 种晶 垂直边 水平边 | ||
【主权项】：
1.一种为管芯确定管芯角的方法，包括在管芯的内部选取参考点；获取位于管芯的最外围的水平边上的第一节点以及位于管芯的最外围垂直边上的第二节点，其中参考点与第一节点的连线与管芯的最外围的水平边垂直，并且参考点与第二节点的连线与管芯的最外围的垂直边垂直；获取第三节点，其中第一节点、第二节点、第三节点和参考点形成矩形；以及第三节点被认为是管芯的管芯角。
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