[发明专利]一种增强型器件及其制备方法在审
| 申请号： | 201910336804.1 | 申请日： | 2019-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN111863954A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 程凯 | 申请（专利权）人： | 苏州晶湛半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L21/335 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 孟潭 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种增强型器件及其制备方法，该增强型器件采用垂直或者半垂直结构，制备非极性面或半极性面的氮化物异质结，使二维电子气在此处中断，获得了增强型器件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 增强 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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