[发明专利]一种AlN陶瓷的氧化方法在审
| 申请号： | 201910336866.2 | 申请日： | 2019-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN110066162A | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 许乐 | 申请（专利权）人： | 深圳市宏钢机械设备有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/10 | 分类号： | C04B35/10;C04B35/622;C04B35/64 |
| 代理公司： | 深圳市嘉宏博知识产权代理事务所 44273 | 代理人： | 李杰 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区龙田*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种AlN陶瓷的氧化方法，包括如下步骤：步骤1：将AlN陶瓷片先后在丙酮和酒精中清洗，然后烘干待用；步骤2：将AlN陶瓷片置于水平扩散炉中，在一定温度和一定气氛条件下氧化一定时间；步骤3：将AlN陶瓷片随炉冷却即可。本发明采用强氧化性气氛下氧化，可以提升氧化效率和氧化质量。本发明的优点是氧化时间缩短且氧化温度降低，同时氧化产品的一致性更好。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷片 陶瓷 强氧化性气氛 气氛条件 时间缩短 水平扩散 随炉冷却 温度降低 氧化产品 氧化效率 烘干 丙酮 炉中 酒精 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种AlN陶瓷的氧化方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：将AlN陶瓷片先后在丙酮和酒精中清洗，然后烘干待用；步骤2：将AlN陶瓷片置于水平扩散炉中，在一定温度和一定气氛条件下氧化一定时间；步骤3：将AlN陶瓷片随炉冷却即可。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市宏钢机械设备有限公司，未经深圳市宏钢机械设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910336866.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
