[发明专利]一种超导隧道结、超导电子元件及其制备方法在审
| 申请号： | 201910337180.5 | 申请日： | 2019-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN111864047A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 王津洲 | 申请（专利权）人： | 芯恩（青岛）集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01L39/02 | 分类号： | H01L39/02;H01L39/24 |
| 代理公司： | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人： | 陈敏 |
| 地址： | 266555 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超导隧道结、超导电子元件及其制备方法。超导隧道结包括下电极，形成在下电极上的介电层，以及形成在介电层上方的上电极，下电极和上电极均包括多层结构，多层结构包括不同的超导材料层，超导隧道结形成异质类超导隧道结，自介电层至上电极、下电极的方向上，多层不同超导材料的超导能带逐渐增大。在上电极和下电极均为两层结构形成的约瑟夫生隧道结及包括其的电子元件中，异质类超导材料的界面能带差异和安德列耶夫反射交互作用，介于两层第一类超导材料之间的第二类超导材料约瑟夫生隧道结形成共振腔。该共振腔的共振频率可以达到500GHz～900GHz，填补次微米波和红外线光谱之间的空隙带，因此可用于宽带超高频振荡器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超导 隧道 电子元件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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