[发明专利]掩模板、显示面板、显示面板的制作方法和显示装置在审
申请号: | 201910338856.2 | 申请日: | 2019-04-25 |
公开(公告)号: | CN110018610A | 公开(公告)日: | 2019-07-16 |
发明(设计)人: | 张怡;杨星星 | 申请(专利权)人: | 武汉天马微电子有限公司 |
主分类号: | G03F1/62 | 分类号: | G03F1/62;G03F1/64;G09F9/30 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 430205 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种掩模板、显示面板、显示面板的制作方法和显示装置,该掩模板用于衬底基板成膜过程中,衬底基板包括显示区和围绕显示区的边框区,显示区中设置有透光区,该掩模板包括:边框遮挡部、透光遮挡部和至少一个连接条;边框遮挡部包括相互连接且相邻设置的第一侧边和第二侧边;连接条用于将透光遮挡部固定连接于第一侧边和/或第二侧边;其中,边框遮挡部与边框区相对应,透光遮挡部与透光区相对应。本发明实施例提供的技术方案,可降低掩模板成本,同时有利于提高显示面板的制作良率,有利于降低显示面板的制作成本。 | ||
搜索关键词: | 显示面板 遮挡 掩模板 侧边 边框 显示区 透光 衬底基板 显示装置 边框区 连接条 透光区 制作 成膜过程 相邻设置 良率 | ||
【主权项】:
1.一种掩模板,其特征在于,用于衬底基板成膜过程中,所述衬底基板包括显示区和围绕所述显示区的边框区,所述显示区中设置有透光区;所述掩模板包括:边框遮挡部、透光遮挡部和至少一个连接条;所述边框遮挡部包括相互连接且相邻设置的第一侧边和第二侧边;所述连接条用于将所述透光遮挡部固定连接于所述第一侧边和/或所述第二侧边;所述边框遮挡部与所述边框区相对应,所述透光遮挡部与所述透光区相对应。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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