[发明专利]一种激光干涉装置在审
| 申请号： | 201910340111.X | 申请日： | 2019-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN109916296A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 张白;孔德超;张家坤;郑忍 | 申请（专利权）人： | 北方民族大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京市领专知识产权代理有限公司 11590 | 代理人： | 林辉轮;张玲 |
| 地址： | 750021 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光干涉装置，包括：激光源，用于发射激光束一，且激光束一入射至分光镜；可随被测物体同步移动的移动反射镜，包括至少两个三角反射镜组二，所述至少两个三角反射镜组二沿被测物体的移动方向的垂直方向依次分布；静止反射镜，包括至少一个三角反射镜组三，所述至少一个三角反射镜组三沿被测物体的移动方向的垂直方向依次分布；经三角反射镜组一反射的激光束二与经三角反射镜组二反射的激光束三分别入射至分光镜，形成干涉光束。通过激光束三在多组三角反射镜组二与三角反射镜组三之间的往复反射，提高了被测物在同位移量下光程变化量，增大了干涉信号变化量，提高了位移放大倍数，从而提高了位移检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 三角反射镜 激光束 被测物体 反射 激光干涉装置 移动方向 变化量 分光镜 入射 静止反射镜 移动反射镜 干涉光束 干涉信号 同步移动 位移放大 位移检测 被测物 激光源 位移量 光程 发射 | ||
【主权项】：
1.一种激光干涉装置，其特征在于，包括：激光源，用于发射激光束一，且激光束一入射至分光镜；所述分光镜，用于将所述激光束一分为激光束二与激光束三；三角反射镜组一，用于接收所述激光束二，并将激光束二反射至分光镜；可随被测物体同步移动的移动反射镜，包括至少两个三角反射镜组二，所述至少两个三角反射镜组二沿被测物体的移动方向的垂直方向依次分布；静止反射镜，包括至少一个三角反射镜组三，所述至少一个三角反射镜组三沿被测物体的移动方向的垂直方向依次分布；每个三角反射镜组三与两个三角反射镜组二对应，所述三角反射镜组三用于接收三角反射镜组二反射的激光束三，并使得激光束三入射至下一个三角反射镜组二；所述三角反射镜组二，用于接收所述激光束三，并使得激光束三反射至三角反射镜组三或分光镜；经三角反射镜组一反射的激光束二与经三角反射镜组二反射的激光束三分别入射至分光镜，形成干涉光束，所述干涉光束入射至光电探测器；处理系统，用于根据光电探测器上的信号变化，计算出被测物体的位移变化值。
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