[发明专利]简化的灯具设计有效

专利信息
申请号: 201910340253.6 申请日: 2014-03-04
公开(公告)号: CN110265284B 公开(公告)日: 2021-11-05
发明(设计)人: 约瑟夫·M·拉内什 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01K1/16 分类号: H01K1/16;H01K1/40;H01K1/66;H05B3/00;H01L21/67
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的实施例一般涉及简化的、高电压钨卤素灯具,用于使用作为快速热处理(RTP)腔室或其它灯具加热热处理腔室中的热辐射源。实施例包括灯具设计,灯具设计包括外部的保险丝,同时减少现有技术灯具的费用与部件数量。另外,本文所述的灯具的实施例提供足够的刚性来处理将灯具插入加热组件基部的压缩力,同时维持简化的保险丝设计。
搜索关键词: 简化 灯具 设计
【主权项】:
1.一种灯具组件,包括:瓶帽,所述瓶帽具有灯丝,所述灯丝设置于所述瓶帽中;压接密封件,所述压接密封件从所述瓶帽延伸并且配置来密封地密封所述瓶帽;第一引线与第二引线,其中所述第一引线与第二引线的每一个在所述压接密封件内电耦接于所述灯丝并且从所述压接密封件延伸;绝缘套管,所述绝缘套管在所述压接密封件的外部耦接于所述第一引线;第三引线,所述第三引线耦接于所述绝缘套管;及所述绝缘套管内的保险丝,所述保险丝将所述第一引线电耦接于所述第三引线。
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